品牌:爱发科
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| 产品特性 : | 热销 | 是否进口 : | 否 |
| 产地 : | 日本 | 加工定制 : | 否 |
| 品牌 : | 爱发科 | 型号 : | UTM-FW |
| 用途 : | 抽真坑 | 电源电压 : | 220 |
涡轮分子泵
UTMｰFW 系列
UTM-FW
ULVAC
采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承，实现了高性能、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型，提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺，FW系列是广域·大流量型，用于高负荷工艺和中间·硬工艺。
特点
具有监控和自诊断功能以及通信功能，可与集中管理系统数字化通信。
配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
配备变速系统。排气速度可以在25％至100％的范围内切换。
具有优异的耐腐蚀表面处理性，可支持选择特殊表面处理和内部升温系统，
以进行进一步的硬化处理(FW系列)采用断裂能量吸收结构，高安全性设计，减少故障时的设备损坏。
符合CE标志
用途
中，重工艺用主泵(FW系列)
轻，中工艺用主泵(FH系列)
各种实验装置的高，超高真空排气用主泵
