1/5
荏源EBARA EV-SA20 荏源真空泵保养 刻蚀机真空泵维修 等离子清洗机真空泵维修图1

荏源EBARA EV-SA20 荏源真空泵保养 刻蚀机真空泵维修 等离子清洗机真空泵维修

2023-12-14 15:165450已售
价格:¥27800.00/台
品牌:荏源
起订:1台
供应:100台
立即购买
产品特性 : 热销 是否进口 :
产地 : 日本 加工定制 :
品牌 : 荏源 型号 : EV-SA20
用途 : 抽真空 电源电压 : 200-380


EV-SA型


满足5,000L/m排气速度要求的小型空冷干式真空泵

节能

小型、轻量

空冷

低噪

低噪

在不同频率(50/60Hz)下性能一致

可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求


规格

设备名称 单位 EV-SA20 EV-SA30 EV-SA50
排气速度 L/min 1,670 3,300 5,000
极限压力 Pa 3.0/ 5.0* 2.0/ 3.0* 0.5/1.0*
连接口径 吸气口
NW40 NW40 NW50
排气口
NW40 NW40 NW40
极限压力时功率概值 kW 0.45 0.45 0.5
冷却方式
空冷 空冷 空冷
电源 额定电压 50/60Hz
单相 200-240V
三相 200-240V
单相 200-240V
三相 200-240V
单相 200-240V
三相 200-240V
电压允许波动范围
±10% ±10% ±10%
电源容量 kVA 3.0 3.0 3.0
质量概值 kg 65 90 150
*为气镇打开时数值



反对 0
举报 0
收藏 0
评论 0
联系方式