产品特性 : | 热销 | 是否进口 : | 否 |
产地 : | 日本 | 加工定制 : | 否 |
品牌 : | 爱发科 | 型号 : | UTM70B |
用途 : | 抽真空 | 电源电压 : | 220 |
涡轮分子泵
UTMーB 系列
UTM70B
ULVAC
采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。搭载控制器
控制器安装在主体上,有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。三种法兰可供选择
VG65、ICF114、ISO63-K三种类型的吸气口法兰可供选择。清洁真空
在运行时以及泵停止时,碳氢化合物的回流很少。低噪音
空载运行时的噪声在48 dB或更低。
(ISO63-K法兰的测量值)
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统