| 品牌 : | EBARA | 是否进口 : | 否 |
| 产地 : | 日本 | 加工定制 : | 否 |
| 型号 : | EV-M20N | 电源电压 : | 200、400V |
| 用途 : | 抽真空 | 尺寸 : | 234*224*115cm |
EV-M型
节能、高负荷工艺的选择的干式真空泵
产品介绍
以荏原高温技术，在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中，满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能，同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配性材料，提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容，能够满足大范围的高负荷工艺要求。
规格
| 设备名称 | 单位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 排气速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 极限压力 | Pa | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
|
| 400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
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| 电源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6.0 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 质量概值 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | |||||
