进口干式螺杆真空泵生产厂家 半导体用真空泵 德耐尔大抽速高真空泵

螺杆真空泵是我公司研发的高科技产品。其主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。转动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动转子旋转。同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。一对旋向相反由泵的两端盖的轴承支撑旋转的螺杆，将被抽气体吸入，通过气体吸入、压缩、排气三个过程，达到抽气的目的。

干式螺杆真空泵性能特点：

01工作腔内无润滑油存在，可获得清洁真空。
02工作腔内无油气污柔被抽气体，工艺性气体回收利用率高，尾气处理方便；同时也避免了油气和油烟等的排放，环境污染小。
03工作腔内无润滑油存在，避免了因润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗。
04泵适用范国广。泵工作腔及螺旋转子衷面有防腐涂层，可适应恶劣的工况：
05泵腔为间隙密封结构，对少量小颗粒粉尘不敏感，旦泵腔真通，无中周板结构，粉尘不易在泵腔内沉积；采用防爆配置时可用干推除易燃易爆的气体。
06泵工作时泵腔内温度可达到100℃以上，使可凝性气不易冷凝，旦跟胜内为直通结构，排气口在泵腔底部，泵胜内的杂物容易排出，因此适直他取可凝性气体。

07泵可单独使用，或者与罗茨泵，分子泵等组合成无油真空泵机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统。

08螺杆泵工作时需保持较高温度，且泵工作时外表面自然散热的效率相对提高，且冷却水与泵体温差大，冷却效果好，因此泵冷却水用了少，对冷却水的温度要求低。

09独有的以螺旋方式将多级转子直接串联，联消了中隔板结构，无中间级吸排气过程，工作过程简单、连续，效率高，泵运行稳定性高。

10泵腔内各零件采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，寿命长；同时泵转速高，整机体积小。

11螺杆泵结构简单，零件种类、数量少，维护方便。

12启动快，启动电流小，启动时对电网的冲击小，启动后泵即打正常抽速。

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