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HANBELL 汉钟干式螺旋真空泵 汉钟PS1302真空泵维修

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真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子 (图一)，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过线形良好的密封效果，压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特色

1. 泵浦 (Pump) 温度控制精准
干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。
2. 密封马达安全性高
真空泵浦亦全面采用专门设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险。
3. 微电脑控制保护周全
真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。




干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型
干式螺旋真空泵浦 S／N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：
抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min
压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
监控系统，预防真空泵浦不正常停机
变频及人性化操控界面
适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用

干式螺旋真空泵浦 A／H型为有罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：
抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min
压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
整合式氮气加热系统，减少气体沉积，延长保养周期及寿命
监控系统，预防真空泵浦不正常停机
适用于半导体、TFT-LCD、LED等光电产业、太阳能、热处理应用