Edwards EPX 180LE真空泵维修 爱德华EPX180真空泵保养 爱德华半导体真空泵维

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180 使用了的**保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
EPX LE 系列的泵具有一个*终用户控制器 (EUC)。通过*终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到各种结构的网络，以进行远程控制和监视。

技术

EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作，增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁，不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此，EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头（由客户）连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件（湿度和温度）相当，以便不会达到结露点。
泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动，该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时，马达会加速到某个速度，该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低，马达速度会加快，直至该速度*终达到其预定的*大速度。如果入口处的压力增大，则马达速度会再次减慢。
EPX LE 系列泵可以使用*终用户控制 (EUC) 本地显示和键盘进行手动操作，也可以使用泵显示终端 (PDT) 进行远程操作（如果配有该终端）；还可以通过网络进行控制和监视，而网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当通过工具接口模块 (TIM) 控制 EPX LE 系列的泵时，EUC 只监视泵的状态。
EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。
EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。
泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。

应用

• EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
  EPX“LE”系列的设计旨在用于清洁工作应用泵送惰性气体混合物（如负荷锁定），通过制程机台接口提供控制。

功能和优势

• 紧凑的占地面积 – 作为可用的*小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

• 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可*大化功率效率。

• 的**保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。

• 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

• 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，*大程度地延长了泵的使��寿命。

• 可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

技术数据

其他产品