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IXL系列维修-爱德华IXL系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华高级干式半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
 iXL系列半导体真空泵是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。
 iXL120 是可用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。其低振动和低噪音级别的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

爱德华IXL系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华 iXL系列半导体干式真空泵产品型号：iXL120,iXL120N,iXL1000,IPUP2,iXL250Q,iXL500Q,iXL500R,iXL750Q

edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。 它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。edwards iXL120 是可用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。 其低振动和低噪音级别的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

IXL系列干式真空泵产品应用：
·半导体工业用真空泵和系统
·科研仪器、真空加工用途真空泵和系统
·泄漏检测、真空仪器、真空元件用于全部工业领域
·排气控制、温度控制、污水处理系统、气体处理系统、化学品和生料控制及元件清洗服务用于半导体行业

Edwards iXL1000干泵特点:
•yi流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
•仅仅 0.55kW 的功 耗有助于da程度减少客户拥有成本
•环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
•gao 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
•极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵，主要分为干式螺杆真空泵和涡旋式干两种。
适用于严苛应用的大型 iXL干泵
Edwards iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的小且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降并帮助保护环境。

爱德华IXL系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards iXL120N Semiconductor Dry Vacuum Pump - REBUILT

The iXL120 is a low energy, compact dry pump system that can be mounted on tool or remotely. It is designed to give extremely low cost of ownership. The iXL120 is intended only for use on clean duty applications. The iXL120 is not intended for use with potentially flammable, corrosive, toxic or other hazardous gases since these gases or oxygen can mix within the pump system.

Typical peak pumping speed (no gas purge/cold pump)    110 m3/h-1 / 65 cfmUltimate pressure0.01 mbar / 8 mTorrPump inlet flangeISO-63 / NW50Exhaust gas outletNW25Intended useIndoor useOperating ambient temperature range5 to 40°CStorage ambient temperature range-45 to 55°CMaximum relative humidity80% for temperatures up to 31°C decreasing linearly to 50% relative humidity at 40°CMaximum operating altitudeup to 2,000 mPollution degreeII (IEC 61010) (Normally only non-conductive pollution occurs. Occasionally, however, temporary conductivity caused by condensation must be expected)AtmosphereNon flammable and non-corrosiveDegree of protection provided by enclosureIP31D (EN60529: Degrees of protection provided by enclosures)Dimensions450 x 230 x 275 mmMass59 kgNoise level (at ultimate)<55 dB(A)Vibration level at inlet<1.5 mm/s-1Vibration to the floor (when docked)<0.05 mm/s-1Initial force to push the pump0.06 kNSustained force to push the pump0.04 kNWarm up time to nominal pumping performance45 min