| 品牌 : | 爱德华 | 是否进口 : | 否 |
| 产地 : | 英国 | 加工定制 : | 否 |
| 型号 : | IXL120 | 电源电压 : | 380V |
| 用途 : | 抽真空 | 尺寸 : | 250*225*150cm |
iXL 系列是系列紧凑型干泵，适用于轻量应用，例如晶片处理、PVD 和计量。
快速腔体抽空和极低功耗
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵是轻量应用中小、安静的泵之一
iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵具有高抽取速度和的特点
iXL900R 是目前同类产品中速度快的负载锁定泵，用于 FPD 负载锁定应用。使用这种泵，客户可以降低其运营成本和安装时间，特别适用于等离子体气相沉积 (PVD) 应用的负载锁定腔室。此外，每个负载锁定腔室需要的泵会更少，从而减少了客户的安装时间、系统化成本、维护和公共设施消耗。
“绿色模式”可减少闲置期间的公共设施使用、降并有助于提高环境绩效
iXL 干式真空泵机组
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能的 泵旨在限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于程度减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的小且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降并帮助保护环境。
的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP™ 的 插入式替换部件
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