| 品牌 : | 爱德华edwards | 是否进口 : | 否 |
| 产地 : | 英国 | 加工定制 : | 否 |
| 型号 : | EPX180L | 电源电压 : | 380V |
| 产品特性 : | 稳定 | 用途 : | 真坑获得 |
英国爱德华半导体真空泵EPX180L维修保养
产品介绍
EPX系列干泵
概述
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
应用
EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
功能和优势
紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可化功率效率。
的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
技术数据
EPX180 |
EPX500 |
|
峰值速度 |
170 m3h-1 |
500 m3h-1 |
105 ft3min-1 |
295 ft3min-1 |
|
2835 l min-1 |
8338 l min-1 |
|
极限真空 |
||
<1 x 10-4 mbar |
<1 x 10-6 mbar |
|
<7.5 x 10-5 torr |
<7.5 x 10-7 torr |
|
<1 x 10-2 pa |
<1 x 10-4 pa |
|
预热时间（达到标称性能） |
30 分钟 |
30 分钟 |
入口法兰 |
ISO63 |
ISO160 |
出口法兰 |
NW25 |
NW25 |
噪音 |
<59 db(a) |
<59 db(a) |
小冷却水流速 |
2 l m-1 |
2 lmin-1 |
冷却水温度 |
15 – 35 °C |
15 – 35°C |
电源供给 |
200/208 V，50/60 Hz 三相 |
200/208 V，50/60 Hz 三相 |
极限功率 |
1.4 kW |
1.4 kW |
电机额定功率 |
3.0 kW |
3.0 kW |
TIM |
C3 |
SPI |
重量 |
43.5 kg |
45.2 kg |
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